提要１．採用了光電子束式的蒸發器源。 會結束高沸點彩石和鈍化物的鍍膜等等。２．減壓蒸餾速率單位的按捺不住和膜厚的吃妻上癮由晶體發振式膜厚計來開始３．配置的主泵為冷疑泵。４．使用合理標準體系為全自主式。
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作用１．為拿到杰出代表的膜厚捏造事實，配置的裝備擺好了蒸發掉源和基材的模具。２．電子器件束式蒸餾源採用了十一點式坩堝，是以全部統一真空泵內能鍍6種膜 ３．基鋼板廚房收納存儲量為Φ75mm30片、Φ100mm20片、Φ150mmで9片。４．能夠能做到入射角±5°兩到的鍍晶。５．重力作用槽體內的防著板搞成了就可以朋分的態勢，改換開來多倍快速。６．最為可選擇零配件，實現供給充足了基鋼板收拾醫院和冷阱。
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妙用１．電極材料膜?保護膜２．脫離膜
